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플라즈마 공정에서 방전을 모니터링하기 위한 장치 및 방법

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기관명	NDSL
출원인	트럼프 헛팅거 게엠베하 + 코 카게
출원번호	10-2016-7010971
출원일자	2016-04-26
공개번호	20160609
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	플라즈마 공정에서의 방전, 특히 캐소드 스퍼터링 구성(13)의 전극들 사이의 방전을 모니터링하기 위한 디바이스 및 방법 - 발전기는 발전기의 주기적으로 변하는 출력 신호와 함께 전력을 캐소드 스퍼터링 구성(13)에 공급함 - 은, a. 적어도 하나의 플라즈마 공급 신호(19)의 적어도 제1 신호 경로(2)를 플라즈마 공급 신호의 적어도 하나의 주기 내에서의 적어도 제1 시간 범위 내에서 검출하는 단계, b. 적어도 하나의 플라즈마 공급 신호(19)의 적어도 제2 신호 경로(6)를 플라즈마 공급 신호의 적어도 하나의 다른 주기에서의 제1 시간 범위에 대응하는 지점에 있는 적어도 제2 시간 범위 내에서 검출하는 단계, 및 c. 제2 신호 경로가 제1 신호 경로로부터 어떤 거리만큼 벗어나면 식별 신호를 발생시키는 단계를 포함하고, 이 거리는 최소 시간차(22) 및 최소 신호 진폭차(21)를 가진다.상세하게는, 아크가 그에 의해 아주 신뢰성 있고 아주 신속한 방식으로 식별될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167010971
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