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측벽 빔 제조 기술을 이용한 마이크로기계적 플렉셔 설계

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기관명	NDSL
출원인	픽스트로닉스 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7011023
출원일자	2016-04-26
공개번호	20160616
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 개시내용은 디스플레이에서 플렉셔들(flexures)을 활용하는 시스템들, 방법들 및 장치를 제공한다.일부 구현들에서, EMS(electromechanical systems) 디바이스는, 광 변조기의 이동 축을 따라 낮은 강도를 갖고 다른 방향들에서는 높은 강도를 갖는 플렉셔들을 포함할 수 있다.플렉셔들은 앵커에 MEMS 구조를 기계적으로 커플링하는 하나 또는 그 초과의 빔들을 포함할 수 있다.빔들은 힌지 부분에 커플링될 수 있으며, 힌지 부분은 MEMS 구조 및 플렉셔들에 의해 평면외 이동을 억제하도록구성된다.플렉셔들은 또한 보강 부분을 사용하여 평면외 이동을 억제할 수 있다.보강 부분은 힌지 부분에 또는 플렉셔의 적어도 하나의 빔에 기계적으로 커플링될 수 있다.보강 부분의 단면 기하학적 구조를 변화시킴으로써, 평면외 방향으로 플렉셔를 이동시키는데 요구되는 힘을 증가시키도록 보강 부분의 강도가 제어될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167011023
첨부파일

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