| 초록 |
본 발명은 액상의 탄화수소혼합물 인증표준물질 제조장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 원료가스실린더의 중량과 부피가 크더라도 용이하게 핸들링할 수 있고, 원료가스실린더 내부에 충진되어 있는 원료가스가 항상 액상으로 가스관으로 공급될 수 있고, 원료가스실린더의 압력이 낮은 경우에도 원료가스가 인증표준물질실린더까지 무난히 이송되어 주입 및 혼합됨으로써 간편하고 편리하고 그리고 신속하게 액상의 탄화수소혼합물 인증표준물질을 제조할 수 있는 액상의 탄화수소혼합물 인증표준물질 제조장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명인 액상의 탄화수소혼합물 인증표준물질 제조장치는, 가스관(L) 단부의 원료가스실린더연결구(110)에 각 성분의 원료가스가 충진된 원료가스실린더(C1)를 차례로 연결하여 가스관(L)에 각 성분의 원료가스를 공급하되, 상기 가스관(L)상에는 공급된 원료가스가 원료가스실린더(C1)로 역류하는 것을 방지하기 위한 체크밸브(120)와, 원료가스를 필터링하기 위한 원료가스필터(130)가 구비되고, 상기 가스관(L)의 가지관(L') 단부에는 상기 원료가스실린더(C1)의 압력을 높여주기 위해 헬륨가스실린더(C2)로부터 가스관에 헬륨(He)을 주입할 수 있도록 헬륨가스실린더연결구(110')가 더 구비되고, 상기 원료가스실린더(C1)는 액상과 기상의 원료가스가 혼재된 내부로부터 액상의 원료가스만을 가스관(L)에 주입하기 위해 원료가스실린더플랫폼(140)에 정장착되어 거치되는 원료가스인입부(100)와; 순수한 원료가스의 이송을 위해 가스관(L)을 진공상태로 세척하기 위한 진공펌프(210)와, 가스관(L)을 세척하여 발생된 오염가스를 외부로 배기하기 위한 배기후드(220)와, 가스관(L)의 압력을 측정하기 위한 압력계(230)와, 주입되는원료가스의 정확한 양을 측정하기 위한 유연관(241)을 구비하는 고정밀저울(240)을 포함하여 이루어지는 원료가스정밀주입부(200)와; 인증표준물질실린더(C3)를 세척하기 위한 우회주입부(310)가 구비되고 주입된 각성분의 원료가스가 혼합되어 제조되는 탄화수소혼합물 인증표준물질을 저장하는 인증표준물질저장부(300);를 포함하고, 각각 가스관(L)으로 연결되어 원료가스실린더(C1)로부터 공급되는 각 성분의 원료가스가 인증 표준물질실린더(C3)까지 원활히 이송되어 주입 및 혼합됨으로써 탄화수소혼합물 인증표준물질을 제조하는 탄화수소혼합물 인증표준물질 제조장치에 있어서, 상기 원료가스실린더플랫폼(140)은, 원료가스실린더장착대(141)와 원료가스실린더장착대거치대(142)가 결합축(143)에 의해 회전가능하게 축결합되고 상기 원료가스실린더장착대(141)를 회전시킬 수 있는 스텝모터(144)와 상기 스텝모터(144)를 조절하여 상기 원료가스실린더장착대(141)의 회전 각도와 속도를 제어하기 위한 스텝모터조절기(145)를 포함하여이루어지는 것을 특징으로 한다. 또한 본 발명인 액상의 탄화수소혼합물 인증표준물질 제조방법은, 각 성분의 원료가스를 충진하고 있는 원료가스실린더(C1)를 차례로 장착하여 필요한 각 성분의 원료가스를 공급하는 원료가스실린더 플랫폼장착단계(S1)와; 액상의 가스만을 실린더출구로 유도하기 위하여 스텝모터조절기(145)에 의해 스텝모터(144)를 조절하여 원료가스실린더(C1)를 자동으로뒤집어 역장착하는 원료가스실린더 역장착단계(S2)와; 원료가스실린더(C1)로부터 가스관(L)에 공급된 원료가스를 인증표준물질실린더(C3)까지 오염없이 깨끗한 상태로 이송하는 원료가스공급및이송단� |
