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플랫 패널 디스플레이용 배선막 형성용 스퍼터링 타깃

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기관명	NDSL
출원인	미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤
출원번호	10-2016-7014414
출원일자	2016-05-30
공개번호	20160616
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	이 발명의 플랫 패널 디스플레이의 구리 합금 배선막 및 그것을 형성하기 위한 스퍼터링 타깃은, Mg : 0.1 ∼ 5 원자% 를 함유하고, 추가로 Mn 및 Al 중의 1 종 또는 2 종의 합계 : 0.1 ∼ 11 원자% 를 함유하고, 필요에 따라 P : 0.001 ∼ 0.1 원자% 를 함유하고, 잔부가 Cu 및 불가피 불순물로 이루어지는 조성을 갖는다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167014414
첨부파일

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