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주사 전자 현미경 및 화상 생성 방법

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
출원번호	10-2016-7019382
출원일자	2016-07-18
공개번호	20160901
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	대기압하에서 관찰 가능한 하전 입자선 장치에 있어서는, 하전 입자선을 투과하는 격막을 이용하여, 시료를 배치하는 대기압 공간과 하전 입자 광학계측의 진공 공간을 격리한다.이 격막은 매우 얇기 때문에 파손되는 경우가 많다.이 때문에, 격막의 교환 빈도가 증가하고, 교환 작업에 의한 편리성의 저하나 러닝 코스트의 증가라고 하는 문제가 발생하고 있었다.당해 과제를 해결하기 위해서, 주사 전자 현미경은, 1차 전자선을 시료(6) 상에 조사하는 전자 광학 경통(2)과, 전자 광학 경통 내부와 직결되며, 적어도 1차 전자선의 조사중에 내부가 상기 전자 광학 경통 내부보다 저진공의 상태로 되는 케이싱(7)과, 시료(6)가 재치되는 대기압 분위기의 공간과 저진공 상태의 케이싱 내부를 격리하고 또한 상기 1차 하전 입자선을 투과하는 격막(10)을 구비하는 것을 특징으로 한다(도 1 참조).
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167019382
첨부파일

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