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실리콘 미소 구체 제조

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기관명	NDSL
출원인	엔티에이치 디그리 테크놀로지스 월드와이드 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7018339
출원일자	2016-07-08
공개번호	20160818
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	태양 전지 패널을 형성함에 있어 직격이 200um보다 작은 소형의 실리콘 구체가 사용하는데 바람직하다.이러한 소형의 구체를 형성하도록, 200um보다 작은 직격을 갖는 것과 같이, 그 백만개의 동일한 오목부들의 표면에 대형 면적의 글래스 기판이 에칭된다.용융된 실리콘의 나노입자를 포함하는 유체로 형성된 실리콘 잉크는 오목부들을 완전하게 채우도록 기판 위에 증착되고, 과도한 잉크가 제거된다.잉크는 유체를 증발시키고 실리콘 나노입자를 용융시키도록 가열된다.포토닉 시스템은 실리콘을 급속하게 용융시키도록 사용된다.용용된 실리콘은 표면 장력에 의해 각각의 오목부 내에 구체를 형성한다.잉크 내의 실리콘의 밀도 및 각각의 오목부의 볼륨이 잘 정의되어 있으므로, 각각의 구체의 볼륨이 잘 정의되어 있다.기판은 재사용 가능하다.프로세스를 이용하여 분 당 수백만개의 구체가 생성될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167018339
첨부파일

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