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레이저 광을 위한 파워 밸런스 장치, 레이저 가공 장치

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기관명	NDSL
출원인	미쓰비시덴키 가부시키가이샤
출원번호	10-2018-7020034
출원일자	2018-07-12
공개번호	20180809
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	피가공물에의 안정된 레이저 가공을 용이하게 실행할 수 있는 레이저 가공 장치 및 이 레이저 가공 장치에서 사용되는 레이저 광을 위한 파워 밸런스 장치를 얻는다.대향하는 한 쌍의 주면 중 일방의 주면측에, 기판 재료와 동일한 재료로 이루어지는 복수의 볼록부가 설정 주기(P)로 각각 평행하게 직선 형상으로 연장되는 회절 격자가 형성되고, 상기 회절 격자의 구조성 복굴절을 이용 가능하게 형성된, 원적외광의 레이저 광이 입사되는 편광 위상차 판으로서, 상기 회절 격자의 상기 주기(P)가 P
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020187020034
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