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표면측정기능을 갖는 석정반 표면가공장치

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기관명	NDSL
출원인	김대식
출원번호	10-2018-0081079
출원일자	2018-07-12
공개번호	20181011
공개일자	2018-10-05
등록번호	10-1905020-0000
등록일자	2018-09-28
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 표면측정기능을 갖는 석정반 표면가공장치에 관한 것으로서, 통상의 석정반 표면가공장치에 있어, 연마 툴이 위치한 좌우 측에 측정레이저를 두어 재귀되는 레이저 빔을 수광하고, 수광된 신호는 측정검측부를 통해 측정된 값을 비교 판단하여 가공 두께를 최종적으로 얻고, 이를 제어반을 통한 연마 툴의 가공 깊이를 보정하면서 연삭이 이루어지게 함으로써, 전자수준기를 이용한 불필요한 평탄도 검사측정을 생략할 수 있고, 연마 툴의 마모 정도에 따른 교체시기, 훼손을 가늠할 수 있기 때문에 표면가공작업시간을 대폭 줄여 줄 수 있으며, 이후 이루어지는 수작업 랩핑이나 폴리싱 작업에서 상급의 평탄도를 갖는 석정반을 제공할 수 있는 효과가 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020180081079
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