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디스플레이 유리 조성물의 레이저 절단

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기관명	NDSL
출원인	코닝 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7019250
출원일자	2016-07-15
공개번호	20160825
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 예를 들면, TFT(박막 트랜지스터) 장치의 생산에 주로 사용된 디스플레이 유리 조성물의 절단과 같은, 투명한 재료의 얇은 기판을 절단하고 분리하기 위한 레이저 절단 기술에 관한 것이다.기재된 레이저 처리는 내부 구멍 및 슬롯의 형성을 포함한 임의의 만곡된 형상을 만들기 위해 그리고 날카로운 외측 반경 코너( 1 m/sec의 속도에서, 직선형 절단부를 만드는데 사용될 수 있다.알카라인 토류 보로-알루미노실리케이트 유리 합성물 피가공물을 레이저 처리하는 방법은 초점 라인으로 펄스 레이저 빔을 초점맞추는 단계를 포함한다.초점 라인은 유리 합성물 피가공물로 나아가게 되어, 재료 내에서 유도된 흡수를 만든다.피가공물 및 레이저 빔은 윤곽을 따라서 복수의 결함 라인을 형성하도록 서로와 관련하여 이동되며, 이때 인접한 결함 라인은 0.1 미크론 - 20 미크론의 간격을 갖는다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167019250
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