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극자외 광원 내의 타겟의 이동 속성의 결정 기술

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기관명	NDSL
출원인	에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
출원번호	10-2019-7010651
출원일자	2019-04-12
공개번호	20190509
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	궤적을 따라 타겟 공간을 향해 이동할 때 현재 타겟의 이동 속성을 측정하기 위한 방법이 기술된다.이러한 방법은, 상기 현재 타겟이 상기 타겟 공간에 진입하기 전에 상기 현재 타겟과 복수 개의 진단 프로브 각각 사이의 상호작용에 기인하여 생성되는 광의 복수 개의 2차원 표현을 검출하는 단계; 광의 검출된 복수 개의 2차원 표현의 분석에 기초하여 상기 현재 타겟의 하나 이상의 이동 속성을 결정하는 단계 - 상기 결정하는 단계는 상기 현재 타겟이 상기 타겟 공간에 진입하기 전에 완료됨 -; 및 현재 타겟의 결정된 하나 이상의 이동 속성이 허용가능한 범위 밖이면, 상기 타겟 공간으로 지향되는 방사선 펄스의 하나 이상의 특성을 조절하는 단계를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020197010651
첨부파일

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