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열 화학기상증착 장치 및 열 화학기상증착 방법

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기관명	NDSL
출원인	울산과학기술원
출원번호	10-2014-0127625
출원일자	2014-09-24
공개번호	20160407
공개일자	2016-07-08
등록번호	10-1637980-0000
등록일자	2016-07-04
권리구분	KPTN
초록	효과적이고 효율적으로 대상 소재를 보다 균일하게 코팅시킬 수 있도록, 작업대 상에 배치되고 내부에 진공분위기를 형성하는 진공챔버, 상기 진공챔버 내부에 회전가능하게 배치되며 소재를 수용하는 반응튜브, 상기 진공챔버 외측에 배치되는 가열부, 상기 반응튜브 내부에 소스가스를 공급하는 공급부, 상기 진공챔버 내부 압력을 조절하는 압력조절부, 상기 반응튜브를 진공챔버 내부로 삽입 또는 진공챔버에서 외측으로 인출하기 위한 이동부, 상기 진공챔버에 대해 상기 반응튜브를 회전시켜 대상 소재와 소스가스를 교반시키기 위한 회전부를 포함하는 열 화학기상증착 장치를 제공한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020140127625
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