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다결정 질화갈륨 자립 기판 및 그것을 이용한 발광 소자

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기관명	NDSL
출원인	엔지케이 인슐레이터 엘티디
출원번호	10-2016-7007330
출원일자	2016-03-21
공개번호	20160510
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	대략 법선 방향으로 특정 결정 방위에 배향된 복수의 질화갈륨계 단결정 입자로 구성되는 다결정 질화갈륨 자립 기판이 제공된다. 이 자립 기판은, 기판 표면의 전자선 후방 산란 회절법(EBSD)의 역극점도 맵핑에 의해서 측정된 각 질화갈륨계 단결정 입자의 결정 방위가 특정 결정 방위로부터 다양한 각도로 경사져 분포되고, 그 평균 경사각이 1~10°이다. 또한, 본 발명의 발광 소자는, 상기 자립 기판과, 기판 상에 형성되며, 대략 법선 방향으로 단결정 구조를 갖는 복수의 반도체 단결정 입자로 구성되는 층을 하나 이상 갖는 발광 기능층을 구비한다. 본 발명에 따르면, 기판 표면의 결함 밀도를 저감할 수 있는 다결정 질화갈륨 자립 기판을 제공할 수 있다. 또한, 본 발명의 다결정 질화갈륨 자립 기판을 이용하여 높은 발광 효율을 얻을 수 있는 발광 소자를 제공할 수도 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167007330
첨부파일

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