| 초록 |
임계 치수(CD) 또는 노광 선량과 같은 임계 치수 관련 특성을 결정하는 방법.웨이퍼 상의 서로 다른 각각의 임계 치수 바이어스를 가진 주기적 타겟을 생성하기 위하여 리소그래피 프로세스에서 리소그래피 장치를 사용하여 웨이퍼를 처리함.각각의 타겟을 조명함.타겟에 의해 산란된 방사선의 세기를 측정함.이미지로부터 각각의 격자를 인식하고 추출함.차분 신호를 결정함.그런 다음, 차분 신호, CD 바이어스, 및 그러한 주기적 타겟의 1:1 선 대 간격 비율에서 차분 신호가 영에 근접한다는 지식에 기초하여, CD 또는 노광 선량과 같은 CD 관련 특성을 결정함.후속 웨이퍼의 리소그래피 프로세스에서 리소그래피 장치를 제어하기 위하여 결정된 임계 치수 관련 특성을 이용함.단지 2개의 CD 바이어스를 이용하기 위하여, 교정 단계가 '골든 웨이퍼'(즉, 기준 웨이퍼) 상의 측정을 이용하여, 알려진 CD를 가진 CD 쌍 각각에 대한 세기 구배를 결정할 수 있다.대안적으로, 교정은 CD에 대한 세기 구배의 감도의 시뮬레이션에 기초할 수 있다. |
