| 초록 |
사람의 호흡을 사용해서 디바이스 제어를 가능케 하는 MEMS 검출기를 위한 방법 및 시스템이 기술되며, 상기 방법 및 시스템은 MEMS(microelectromechanical systems) 검출기를 통해 사람의 호흡(human breath)에 의해 야기되는 공기 흐름(air flow)을 검출하는 단계를 포함할 수 있으며, MEMS 검출기는 공기의 이동을 검출하는 편향 가능 멤버들을 포함할 수 있다.멤버들의 편향(deflection)은 MEMS 검출기 내에서 스페이서(spacer)를 통해 제한될 수 있다.편향의 양은, 반사되는 광 신호들, 압전기 신호들(piezoelectric signals), 용량 변화들, 또는 자계에서의 편향에 의해 생성되는 전류를 측정함으로써 결정될 수 있다.출력 신호들은 검출된 이동을 기반으로 생성될 수 있다.MEMS 검출기는 기판, 스페이서, 및 MEMS 편향 가능 멤버들을 포함할 수 있다.기판은 세라믹 재료 및/또는 실리콘을 포함할 수 있으며, 내장된 디바이스들 및 인터커넥트들(interconnects)을 포함할 수 있다.집적 회로는 기판에 전기적으로 연결될 수 있다.공기 흐름은 MEMS 검출기 측에서 유도될 수 있다. |
