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기상 증착 장치, 기상 증착 방법 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	삼성디스플레이 주식회사
출원번호	10-2016-0066754
출원일자	2016-05-30
공개번호	20160609
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명의 일 실시예는 기판에 대하여 박막을 증착하기 위한 기상 증착 장치에 관한 것으로서, 적어도 하나 이상의 기체를 공급하도록 형성된 복수의 선형의 공급 부재를 구비하는 공급부 및 상기 복수의 공급 부재에 연결되고 상기 기판 방향으로 상기 기체를 제공하는 복수의 노즐 부재를 구비하는 노즐부를 포함하고, 상기 복수의 노즐 부재 중 서로 인접한 두 개의 노즐 부재는 상기 복수의 공급 부재 중 적어도 하나의 공통의 공급 부재에 연결되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 기상 증착 장치를 개시한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160066754
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