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멀티-비트 강유전체 메모리 디바이스 및 멀티-비트 강유전체 메모리 디바이스를 형성하는 방법

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기관명	NDSL
출원인	마이크론 테크놀로지, 인크.
출원번호	10-2016-7014410
출원일자	2016-05-30
공개번호	20160623
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	멀티-비트 강유전체 메모리 디바이스 및 멀티-비트 강유전체 메모리 디바이스를 형성하는 방법이 제공된다. 멀티-비트 강유전체 메모리 디바이스를 형성하는 일례의 방법은 비아의 제1 측면 상에 제1 강유전체 재료를 형성하는 단계, 비아의 제2 측면을 노출시키도록 재료를 제거하는 단계, 및 비아의 제1 측면에 비해 다른 두께로 비아의 제2 측면 상에 제2 강유전체 재료를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167014410
첨부파일

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