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하전 입자 빔 묘화 장치, 정보 처리 장치, 패턴 검사 장치 및 하전 입자 빔 묘화 방법

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지
출원번호	10-2015-0039945
출원일자	2015-03-23
공개번호	20151008
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	실시 형태에 관한 하전 입자 빔 묘화 장치는, 계층마다 요소를 갖는 계층 구조의 묘화 데이터에 있어서의 특정 계층 요소(예를 들어, 셀)에 대응하는 하계층 요소(예를 들어, 패턴)마다의 도형 정보를 저장하는 도형 정보 파일과, 하계층 요소마다 부여하는 속성 정보를 특정 계층 요소에 관한 정보(예를 들어, 인덱스 번호)에 관련지어 저장하는 속성 정보 파일을 구비한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150039945
첨부파일

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