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통합 온도 제어 및 온도 센서를 가지는 복합형 전위차 가스 센서 어레이

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기관명	NDSL
출원인	유니버시티 오브 플로리다 리서치 파운데이션, 인크.
출원번호	10-2016-7020023
출원일자	2016-07-21
공개번호	20160808
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명의 실시예들은 가스 센서 및 하나 또는 그 이상의 가스를 감지하는 방법과 관련되어 있다.하나의 실시예는 유사한 또는 다른 온도에서 유지되는 센서 전극 배열을 포함하며, 상기 장치의 감도 및 종 선택성은 센서 전극의 다른 쌍 사이에서 잘 조정될 수 있다.특정의 실시예는 연소 배기가스 및/또는 화학 반응 부산물을 모니터링 하도록 가스 센서 배열을 포함한다.본 장치의 하나의 실시예는 높은 온도에서 동작하며 거친 화학 환경을 견딜 수 있는 본 발명과 관련된다.상기 장치의 실시예들은 단일 기판에서 만들어진다.상기 장치는 상기 전극들이 동일 평면상에 있는 것을 허여하여 제작비용이 계속해서 감소하는 것과 같은 환경에서 센서 전극을 포함할 수 있다.상기 장치의 실시예들은 감도, 선택성 및 표면 온도 조절을 통한 단일 개입에서의 향상을 제공할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167020023
첨부파일

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