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기판에 임시 결합하게 되는 핸들 웨이퍼를 제작하는 방법

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기관명	NDSL
출원인	꼼미사리아 아 레네르지 아토미끄 에뜨 옥스 에너지스 앨터네이티브즈
출원번호	10-2016-7019274
출원일자	2016-07-15
공개번호	20160825
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명의 방법은: a) 수용면(2)을 포함하는 캐리어 기판(1)을 제공하는 단계; b) 점착방지 코팅(4)을 수용면(2) 상에 증착하는 단계로서, 점착방지 코팅(4)은 중심 지역(5) 및 주변 지역(6)을 포함하는, 단계; 및 c) 핸들 웨이퍼(100)를 획득하기 위하여, 점착방지 코팅(4)의 주변 지역(6)을 제거하고 리세스(9)를 캐리어 기판(1)의 주변부에 형성하도록, 캐리어 기판(1)을 트리밍하는 단계를 포함한다.본 발명은 또한 기판(3)을 전술한 방법을 사용하여 제작된 핸들 웨이퍼(100)에 임시로 결합하기 위한 방법에 관한 것이다.또한, 본 발명은 전술한 방법을 사용하여 제작된 핸들 웨이퍼(100)에 관한 것이다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167019274
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