| 초록 |
본 발명은 수동소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 MIM(Metal Insulator Metal) 커패시터는 기판의 일면 상에 형성된 커패시터 박막 패턴, 커패시터 박막 패턴이 형성된 기판을 식각하여 형성된 트렌치(trench), 트렌치를 충진하면서 기판 상에 형성되어 있으며 커패시터를 구성하는 금속층들을 노출시키는 커패시터용 배선홀들이 형성되어 있는 절연층 및 IM 커패시터용 배선홀들에 도전성 물질을 충진하여 형성된 커패시터 전극배선을 포함하고, 기판의 타면은 트렌치에 형성된 절연층이 노출되도록 연마되어 있는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 기판의 타면 즉, 수동소자가 형성되는 기판의 일면과 대향하는 반대면이 연마되어 트렌치에 형성된 절연층이 노출된 구조를 갖기 때문에, 인접 단위 소자로의 전기적 누설의 통로를 원천적으로 차단하여 전기적 손실을 차단할 수 있고, 이에 따라, 최종 제품인 수동소자의 고주파 영역에서의 전기적 특성이 크게 향상되는 효과가 있다. |
