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묘화 데이터 생성 방법, 처리 장치, 기억 매체, 묘화 장치, 및 물품의 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	캐논 가부시끼가이샤
출원번호	10-2014-0098877
출원일자	2014-08-01
공개번호	20150226
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	복수의 하전 입자 빔으로 기판에 묘화를 행하기 위한 묘화 데이터를 상기 기판에 묘화해야 할 패턴을 나타내는 패턴 데이터에 기초하여 생성하는 방법이 제공된다.상기 방법은 상기 복수의 하전 입자 빔 각각의 조사 위치에 있어서의 목표 위치로부터의 변위량에 기초하여 상기 복수의 하전 입자 빔을 복수의 그룹으로 그룹화하는 그룹화 단계; 및 상기 복수의 하전 입자 빔 각각의 상기 변위량에 기초하여 상기 복수의 그룹 각각에 관해서 상기 패턴 데이터를 변경함으로써 상기 묘화 데이터를 생성하는 생성 단계를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020140098877
첨부파일

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