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아모르퍼스 복합 산화막, 결정질 복합 산화막, 아모르퍼스 복합 산화막의 제조 방법, 결정질 복합 산화막의 제조 방법 및 복합 산화물 소결체

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기관명	NDSL
출원인	제이엑스금속주식회사
출원번호	10-2016-7012721
출원일자	2016-05-13
공개번호	20160609
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	실질적으로 인듐, 주석, 마그네슘 및 산소로 이루어지고, 주석이 Sn/(In+Sn+Mg) 의 원자수비로 5 ∼ 15 % 의 비율, 마그네슘이 Mg/(In+Sn+Mg) 의 원자수비로 0.1 ∼ 2.0 % 의 비율로 함유되어 있고, 잔부가 인듐과 산소로 이루어지는 아모르퍼스막이고, 또한, 260 ℃ 이하의 온도에서 어닐링함으로써, 막이 결정화되어, 막의 저항률이 0.4 mΩ 이하가 되는 것을 특징으로 하는 막이다. 플랫 패널 디스플레이용 표시 전극 등에 사용되는 ITO 계 박막을 기판 무가열에 의해, 성막시에 물을 첨가하지 않고, 스퍼터 성막하여, 비정질의 ITO 계 막이 얻어짐과 함께, 당해 ITO 계막이 260 ℃ 이하의 그다지 고온이 아닌 어닐링에 의해 결정화되고, 결정화 후의 저항률이 낮아지는 특성을 갖는 ITO 계 막, 그 막의 제조 방법 및 그 막 제조를 위한 소결체의 제공을 목적으로 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167012721
첨부파일

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