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네가티브형 레지스트 조성물의 검사 방법 및 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
출원번호	10-2016-0098067
출원일자	2016-08-01
공개번호	20160818
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 에칭 내성 및 해상성이 우수하고, 기판 계면에서도 양호한 패턴 형상을 제공하는 네가티브형 레지스트 조성물, 이것을 이용한 패턴 형성 방법, 네가티브형 레지스트 조성물의 검사 방법 및 조정 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명은, (A) 알칼리 가용성이고 산의 작용에 의해 알칼리 불용성이 되는 기재 수지, 및/또는 알칼리 가용성이고 산의 작용에 의해 가교제와 반응하여 알칼리 불용성이 되는 기재 수지와 가교제의 조합, (B) 산발생제, (C) 염기성 성분으로서 질소를 함유하는 화합물을 함유하고, 50 내지 100 nm의 막 두께 X(nm)를 갖는 레지스트막을 성막하기 위한 네가티브형 레지스트 조성물이며, 알칼리 현상액에 대한 용해 속도가 0.0333X-1.0(nm/초) 이상 0.0667X-1.6(nm/초) 이하의 값이 되는 것을 특징으로 하는 네가티브형 레지스트 조성물을 제공한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160098067
첨부파일

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