| 초록 |
진공 펌프와 스크러버 사이에 위치된 중공의 배기 파이프에 제공되어 파우더의 증착을 억제하기 위한 반도체 디스플레이 제조 장비용 배기 디파우더 모듈의 삼방향 밸브가 개시된다. 삼방향 밸브는 내부에 작동공간이 형성되는 메인 바디부, 그 메인 바디부의 양측 길이 방향으로 각각 분리 가능하게 결합되는 제1,2 밸브플랜지, 그 제1,2 밸브플랜지에 대하여 직각 방향으로 돌출되도록 제공되는 제3 밸브플랜지, 그 제1,2,3 밸브플랜지의 내부에 제1,2,3 유로가 연이어 관통 형성되되, 그 제1,2,3 유로는 내경이 동일한 사이즈로 형성되는 밸브 몸체를 포함한다. 개폐볼은 메인 바디부의 작동공간에 회동 가능하게 제공되며, 내부에 관통공이형성되되, 그 관통공은 제1,2,3 유로의 내경과 동일한 사이즈로 형성된다. 구동부재는메인 바디부에 분리 가능하게 설치되며, 상기 개폐볼에 선단이 고정되어 회동 작동되도록 회동핀이 구비된다. 히팅부재는 밸브 몸체의 메인 바디부, 제1,2,3 밸브플랜지 중 적어도 하나의 외주면에 감겨져 제공된다. 안전커버는 히팅부재를 외부로 감싸도록 밸브 몸체에 분리 가능하게 제공된다. |
