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기판 프로세싱 챔버를 위한 격리기

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7014764
출원일자	2016-06-02
공개번호	20160714
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	플라즈마 프로세싱 챔버를 위한 프로세싱 키트.프로세싱 키트는 복수의 세라믹 아크-형상 피스(arc-shaped piece)들을 포함한다.각각의 아크-형상 피스는 오목한 제 1 단부 및 볼록한 제 2 단부를 가지며, 그리고 각각의 아크-형상 피스의 제 1 단부는 이웃하는 아크-형상 피스의 인접하는 단부와 메이팅(mate)하여, 링 형상 내측 격리기(ring shaped inner isolator)를 형성하도록 구성된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167014764
첨부파일

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