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레이저 어닐링 시스템들에서의 에지 프로파일의 제어를 위한 맞춤화된 퍼필 스톱 형상

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2015-7028567
출원일자	2015-10-12
공개번호	20151126
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명의 실시예들은 일반적으로 기판 상에 패턴을 이미징하기 위한 광학계를 갖는 레이저 어닐링 시스템들에 관한 것이다.광학계는 기판의 표면 상에 노출될 이미지를 성형하는 애퍼처 또는 복수의 애퍼처를 포함할 수 있다.이미지는 광학계 시스템 내의 애퍼처의 형상에 의해 결정될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157028567
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