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전자 빔 검사 및 검토에서의 향상된 결함 검출

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기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2016-7010997
출원일자	2016-04-26
공개번호	20160609
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	일 실시예는, 검사 및/또는 검토를 위한 전자 빔 장치에 관한 것이다.전자 소스는 1차 전자 빔을 생성하고, 전자-광학 시스템은 상기 1차 전자 빔을, 스테이지에 의하여 유지된 샘플 상으로 형상화하고 포커싱한다.검출 시스템은, 상기 샘플로부터의 2차 전자들 및 후방-산란된 전자들을 포함하는 신호-휴대 전자들을 검출하고, 화상 처리 시스템은 상기 검출 시스템으로부터의 데이터를 처리한다.호스트 컴퓨터 시스템은, 전자-광학 시스템, 검출 시스템, 및 화상 처리 시스템의 동작들을 제어하고 조정한다.그래픽 유저 인터페이스는, 파라미터 공간을 보여주고, 장치의 동작 파라미터들의 사용자 선택 및 활성화를 제공한다.다른 실시예는, 전자 빔 장치를 이용하여 결함들을 검출 및/또는 검토하는 방법에 관한 것이다.다른 실시예들, 태양들, 및 특징들이 또한 개시된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167010997
첨부파일

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