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노광 장치 및 노광 방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	도판 인사츠 가부시키가이샤
출원번호	10-2020-7002135
출원일자	2020-01-21
공개번호	20200318
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	노광 장치(100)는 제1 노광광(L1A, L1B)을 발생하는 주조명 광원(2)과, 평면으로 보아 제1 축선을 중심으로 하여 지그재그로 배열된 복수의 개구부가 형성된 시야 조리개(3)와, 제1 노광광(L1A, L1B)에 의한 광상을 각각 피노광체(6)에 투영하는 복수의 제1 투영 광학계와, 주조명 광원(2)에 대하여 제1 방향으로 이웃하도록 배치되고, 포토 마스크(1)에 조사하는 제2 노광광(L2A, L2B)을 발생하는 추가 노광용 조명 광원(12)과 보정 노광부를 구비하며, 상기 조리개 부재에는 복합 개구 영역(rC)과 단독 개구 영역(rS)이 제2 방향에서 교대로 형성되고, 상기 보정 노광부는 광량 보정 영역에 한하여 제2 노광광(L12A, L12B)을 피노광체(6)에 조사한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020207002135
첨부파일

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