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물질이동 가스의 분리장치 및 이를 포함하는 화학기상 증착장치

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기관명	NDSL
출원인	주식회사 선익시스템
출원번호	10-2013-0143556
출원일자	2013-11-25
공개번호	20150604
공개일자	2016-07-04
등록번호	10-1635759-0000
등록일자	2016-06-28
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 물질이동 가스의 분리장치 및 이를 포함하는 화학기상 증착장치에 관한 것이다. 본 발명은 화학기상 증착을 위해 유입되는 개시제 및 반응가스를 이동시키기 위해 침투된 물질이동 가스를 분리하기 위한 물질이동 가스의 분리장치에 있어서, 진공 하우징; 및 상기 진공 하우징의 내부를 관통하고, 상기 개시제 및 반응가스와 물질이동 가스가 통과하는 분리 튜브를 포함하고, 상기 분리 튜브에는 상기 물질이동 가스가 상기 진공 하우징 내부로 배출되도록 미세홀이 형성될 수 있다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 화학기상 증착을 위해 유입되는 개시제 및 반응가스에 투입된 물질이동 가스를 진공 상태에서 미세홀을 통해 배출시킴으로써, 개시제 및 반응가스의 유량조절 시 노이즈가 발생하는 것을 최소화할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020130143556
첨부파일

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