| 기업공감원스톱서비스

표면 패시베이션의 제거

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이.
출원번호	10-2016-0020369
출원일자	2016-02-22
공개번호	20160901
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	구리 표면으로부터 패시베이션막을 제거하는 방법들은, 예를 들어 100℃ 내지 400℃의 온도에서 기체상 유기 반응물에 상기 패시베이션막을 노출하는 단계를 포함할 수 있다. 일부 실시예들에서, 상기 패시베이션막은 화학 기계적 평탄화 공정 동안 발생할 수 있는 것과 같이 상기 구리 표면을 벤조트리아졸에 대하여 노출함에 의해 형성된 것일 수 있다. 상기 방법들은 집적 회로 제조를 위한 공정의 일부분으로서 수행될 수 있다. 제2 물질이 상기 세정된 구리 표면 상에, 상기 기판의 다른 표면에 대하여 선택적으로 퇴적될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160020369
첨부파일

기업조회