| 초록 |
본 발명은 금속산화물 나노구조체와 금속나노입자가 결합된 하이브리드 나노구조체에 관한 것으로서, 기판 또는 박막에 금속-유기물 전구체층을 형성하는 제1단계와, 상기 금속-유기물 전구체층 상에 임프린트용 스탬프를 위치시켜 임프린팅 및 경화 공정에 의해 금속산화물 시드층을 형성하는 제2단계와, 상기 금속산화물 시드층의 잔류막을 제거하여 기판 또는 박막의 일부 영역을 노출시켜 금속산화물 시드 패턴층을 형성하는 제3단계와, 상기 금속산화물 시드 패턴층에 열처리를 수행하여 용매를 제거하는 제4단계와, 상기 용매가 제거된 금속산화물 시드 패턴층 상에 수열 합성법을 이용하여 정렬된 금속산화물 나노구조체를 형성하는 제5단계와,상기 정렬된 금속산화물 나노구조체 상에 광화학 분해반응을 이용하여 금속나노입자를 결합시켜 하이브리드 나노구조체를 형성하는 제6단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 정렬된 금속산화물 나노구조체에 금속나노입자가 결합된 하이브리드 나노구조체의 제조방법 및 이에 의해 제조된 하이브리드 나노구조체를 그 기술적 요지로 한다. 이에 의해 임프린팅 공정, 수열 합성법 및 광화학 분해반응과 같은 간단하고 생산단가가 낮은 공정을 이용하여 금속산화물 나노구조체 상에 금속나노입자가 결합된 하이브리드 나노구조체를 용이하게 제작할 수 있어 경제적인 이점이 있다. |
