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뷰 포트 및 이를 포함하는 잉곳 성장 장치

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	주식회사 엘지실트론
출원번호	10-2014-0195176
출원일자	2014-12-31
공개번호	20160714
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	실시예의 뷰 포트 및 이를 포함하는 잉곳 성장 장치는 챔버 내부와 연결된 홀을 구비하는 바디부; 바디부의 홀에 삽입되어 챔버와 밀봉 상태를 유지하고, 빛을 투과시키는 윈도우; 및 상기 바디부 상에 배치되는 쿨링 워터 퍼지(cooling water purge); 를 포함하여, 챔버로부터 발생되어 윈도우로 향하는 오염원을 증착하여 불순물에 의한 오염을 최소화함으로써 챔버 내부에서 진행되는 잉곳 성장 공정의 관찰 및 성장하는 잉곳의 품질 관리를 용이하게 할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020140195176
첨부파일

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