| 초록 |
본 발명은 반도체, LCD 생산설비에의 화학물질 누출에 따른 냄새의 확산을 방지하는 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체, LCD 생산설비에서 사용하는 화학물질과 휘발성 유기화합물 등이 공정 작업 중 혹은 정비 작업 중 장비 결함으로 인해 누출, 흐름, 낙하함으로써 발생되는 공기의 오염에 따른 냄새의 발생 그리고 오염 원인인 화학물질과 휘발성 유기화합물 등을 포집 후 흡입하여 이를 정화 처리하여 대기방출 함으로써 화학물질과 휘발성 유기화합물에 의한 공기 오염의 정화 및 2차 확산에 따른 공기 오염을 방지 및 정화 할 수 있는 장치에 관한 것이다. 본 발명은 반도체, LCD 생산설비의 화학물질, 휘발성 유기화합물과 그로 인해 발생하는 냄새의 누출 확산 방지 장치의 흡입력을 강화하고, 유기화합물 정화 장치의 수명을 연장함과 동시에 한 지점만이 아닌 다수의 흡입 지점에서 흡입하는 기술로 인해 더 효율적으로 흡입 및 정화 할 수 있도록 제품을 개선할 목적으로 발명한 유해물질 정화장치 분야의 기술이다. 본 발명에 따른 반도체, LCD 생산설비의 화학물질과 휘발성 유기화합물과 그로 인해 발생하는 냄새의 누출 확산 방지 장치는, 반도체, LCD 생산설비에서 생산장비에 설치되어 장비 결함으로 인해 누출되는 화학물질과 휘발성 유기화합물이 누출되어 장비 외부와 내부를 따라 흐르거나 장비 하부 그리팅의 사이를 통해 낙하할 경우 발생할 수 있는 2차 확산을 방지하기 위해 이를 포집하는 하부 포집기와 장비 점검시 발생하는 냄새를 포집하기 위한 상부 포집기, 화학물질 폐수 배관을 따라 흐르는 화학물질을 포집하기 위한 배관 포집기, 포집한 화학물질에서 발생될 수 있는 휘발성 유기화합물과 냄새를 흡입하여 2차 확산을 방지 하는 흡입포트, 흡입포트의 흡입력을 발생시키고 흡입물질을 정화탱크로 이송하기 위한 펌프, 흡입한 화학물질과 휘발성 유기화합물, 그로 인해 발생한 냄새를 정화할 수 있는 정화탱크,정화탱크에서 휘발성 유기 화합물과 냄새, 오염된 공기를 정화할 시에 발생할 수 있는 분진을 제어하기 위한 분진제어 필터, 장비에 설치하여 오염정도를 확인할 수 있는 감지기, 감지기로부터 신호를 받아 흡입압력을 조정할 수 있는 흡입압력 제어부, 흡입력과 배출압력을 확인할 수 있는 표시창으로 구성된다. |
