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플라즈마 처리 장치

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기관명	NDSL
출원인	도쿄엘렉트론가부시키가이샤
출원번호	10-2022-0060053
출원일자	2022-05-17
공개번호	20221130
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	[과제] 지자기를 포함한 환경 자장 및 다른 장치로부터의 자기를 차폐할 수 있는 플라즈마 처리 장치를 제공한다.[해결 수단] 플라즈마 처리 장치는, 벽이, 알루미늄보다 높은 투자율을 갖는 재료로부터 구성되는 층을 포함한 다층 구조인 플라즈마 처리 용기와, 플라즈마 처리 용기의 벽에 설치되고, 기판을 플라즈마 처리 용기 내에 반입·반출하는 반입·반출구와, 플라즈마 처리 용기 내에 배치되는 기판 지지부를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020220060053
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