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엑스레이 계측을 사용하는 반도체 디바이스 오버레이를 측정하기 위한 방법들 및 장치

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2016-7014019
출원일자	2016-05-26
공개번호	20160707
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	반도체 타겟 내의 오버레이 에러를 결정하기 위한 장치 및 방법들이 개시된다. 적어도 하나의 입사각(AOI)을 갖는 조명 엑스레이들에 대하여, 상관 모델이 획득되고, 상관 모델은 타겟의 오버레이 에러를, 조명 엑스레이들에 응답하여 타겟으로부터 산란된 엑스레이들에 대한 하나 이상의 회절 차수들 각각(또는 연속적인 회절 강도 분포)에 대한 변조 강도 파라미터와 상관시킨다. 제 1 타겟은 적어도 하나의 AOI를 갖는 조명 엑스레이들로 조명되고, 조명 엑스레이들에 응답하여 제 1 타겟으로부터 산란되는 엑스레이들이 수집된다. 제 1 타겟의 오버레이 에러는 하나 이상의 회절 차수들 각각(또는 연속적인 회절 강도 분포) 및 상관 모델에 대한, 제 1 타겟으로부터 수집된 엑스레이들의 변조 강도 파라미터에 기반하여 결정된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167014019
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