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반사 광학 소자 및 이의 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	칼 짜이스 에스엠테 게엠베하
출원번호	10-2016-7013995
출원일자	2016-05-26
공개번호	20160616
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	특히 EUV 리소그래피에서의 사용을 위한, 소프트 X-선 및 극자외선 파장 범위에 있는 작업 파장을 위한 반사 광학 소자에 관한 것이며, 이러한 반사 광학 소자는 상기 작업 파장에서 실수부가 상이한 굴절률을 갖는 2개 이상의 교번 재료(21, 22)로 이루어진 다층 시스템(20)을 포함하며, 바람직하게 실수부가 더 큰 굴절률을 갖는 재료(21)로부터 실수부가 더 작은 굴절률을 갖는 재료(22)로의 하나 이상의 전환부에는, 실수부가 더 작은 굴절률을 갖는 재료(22)의 질화물 또는 탄화물로 이루어진 추가의 층(23)이 배치된다.특히 바람직하게, 실수부가 더 작은 굴절률을 갖는 재료(22)는 란탄 또는 토륨이다.바람직하게, 상술한 반사 광학 소자의 제조를 위해서 하나 이상의 재료의 층(21, 22, 23)은 플라즈마에 의해 보조되는 방식으로 도포된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167013995
첨부파일

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