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특허/실용신안

실리콘 및 실리콘 게르마늄 나노와이어 구조물

특허 실용신안 개요

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명 NDSL
출원인 인텔 코포레이션
출원번호 10-2016-7013521
출원일자 2016-05-23
공개번호 20160616
공개일자 0000-00-00
등록번호
등록일자 0000-00-00
권리구분 KUPA
초록 마이크로전자 구조물들을 형성하는 방법들이 설명된다.이들 방법의 실시예들은 스페이서들에 인접한 소스/드레인 구조물들과 스페이서들 사이에 배치된 나노와이어 채널 구조물들 - 나노와이어 채널 구조물들은 서로의 위로 수직으로 스택되어 있음 - 을 포함하는 나노와이어 장치를 형성하는 것을 포함한다.
원문URL http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167013521
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류, IPC분류체계CODE, 주제어 (키워드) 순으로 구성된 표입니다.
과학기술표준분류
ICT 기술분류
IPC분류체계CODE H01L-029/66,H01L-029/417,H01L-029/423,H01L-029/775,H01L-029/78,H01L-029/786
주제어 (키워드)