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주기적인 알루미늄 산질화물 퇴적

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기관명	NDSL
출원인	에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이.
출원번호	10-2015-0165585
출원일자	2015-11-25
공개번호	20160609
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	알루미늄 옥시나이트라이드(AlON)를 퇴적하는 방법이 개시된다. 상기 방법은 기판 상에 알루미늄 및 질소-함유 화합물을 형성하기 위해 알루미늄 전구체 및 질소 전구체에 대하여 일시적으로 분리된 노출들에 상기 기판을 부속시키는 단계를 포함한다. AlON을 형성하기 위해 상기 알루미늄 및 질소-함유 화합물이 산소 전구체에 이어서 노출된다. 알루미늄 전구체 및 질소 전구체에 대한 상기 일시적으로 분리된 노출들 및 산소 전구체에 대한 상기 후속적 노출은 함께 AlON 퇴적 사이클을 구성한다. 복수의 AlON 퇴적 사이클들이 원하는 두께의 AlON 막을 퇴적하기 위해 수행된다. 상기 퇴적은 뱃치 공정 챔버 내에서 수행될 수 있으며, 이것은 25개 이상의 기판들을 수용할 수 있다. 상기 퇴적은 플라즈마에 대한 노출 없이 수행될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150165585
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