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알루미늄 도펀트 조성물, 이러한 조성물을 함유하는 대기압 미만의 저장 및 전달 패키지, 및 이러한 조성물의 저장 및 전달 방법

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기관명	NDSL
출원인	프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드
출원번호	10-2015-7033561
출원일자	2015-11-25
공개번호	20151217
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	알루미늄 도펀트 조성물을 사용하기 위한 방법 및 시스템이 제공된다.알루미늄 도펀트 조성물의 조성이 선택되고, 화학식 Al x R y L z 에 의해 나타내어지며, 여기서 R은 메틸 기이고, L은 Cl, F, I 및 Br이고, x는 1 또는 2이고, 여기서 x = 1인 경우에 y = 1 또는 2이고, x = 2인 경우에 y = 2-4이고, x = 1 또는 2에 대해 z = 3x - y이다.조성물은 충분한 증기압 및 최소 탄소 함량을 갖고, 그에 의해 Al 이온 주입 동안 이온 주입 공정으로의 전달의 용이성 및 탄소 침착의 실질적인 감소를 가능하게 한다.소스 물질은 바람직하게는 대기압 미만의 저장 및 전달 장치로부터 저장 및 전달되어 Al 이온 주입 공정 동안 안전성 및 신뢰성을 개선한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157033561
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