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특허/실용신안
단일스텝 피드백과 통계적 시뮬레이션을 이용하는 제조공정의모니터링, 분석시스템
특허 실용신안 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 출원인 | 아드밴스트 마이크로 디이바이시스 인코포레이티드 |
| 출원번호 | 10-1998-0704062 |
| 출원일자 | 1998-05-29 |
| 공개번호 | 20080509 |
| 공개일자 | 0000-00-00 |
| 등록번호 | |
| 등록일자 | 0000-00-00 |
| 권리구분 | KUPA |
| 초록 | 본 발명은 실제 공정과 동시에 수행되는 반도체 제조공정의 통계적 시뮬레이션에 관한 것이다. 확률밀도함수에서 도출된 입력파라미터가 시뮬레이터에 입력되고, 상기 시뮬레이터는 확률밀도함수로서 모델화되는 실제 제조공정을 차례로 시뮬레이션한다. 각각의 시뮬레이션스텝은 문제를 가장 잘 해결할 수 있는 결과를 결정하기 위해 반복적인 연산을 하는 시도-오류방법인 몬테카를로 방식을 이용하여 임의의 시드값을 응용하여 반복된다. 상기 시뮬레이터는 확률밀도함수의 형태로 출력을 생성한다. 통계시뮬레이션은 시뮬레이션의 실행에 있어서 실제 인라인측정데이터에서 공급 또는 도출된 입력 파라미터를 이용하는 단일스텝 피드백을 이용한다. 시뮬레이터에 의해서 생성된 출력데이터인 중간 출력구조데이터와 WET데이터는 측정데이터가 유효한 환경에서 실제 인라인측정데이터와 비교된다. 시뮬레이터의 확률밀도구조는 모의데이터가 실제 인라인 측정데이터에 더욱 가깝게 매치하도록 각 시뮬레이션스텝 이후에 조정된다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1019980704062 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| IPC분류체계CODE | |
| 주제어 (키워드) |