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기판 반송실, 기판 처리 시스템, 및 기판 반송실 내의 가스 치환 방법

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기관명	NDSL
출원인	도쿄엘렉트론가부시키가이샤
출원번호	10-2018-7005182
출원일자	2018-02-22
공개번호	20180315
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	구획 가변 장치(60)는, 복수의 개구를 갖고 전체적으로 직사각형을 이루는 배플판(61)과, 배플판(61)의 주위를 둘러싸는 직사각형의 프레임(62)과, 프레임(62)의 아래쪽에 연결된 벨로우즈(63)와, 벨로우즈(63)의 하단이 고정된 벨로우즈 지지부(64)를 구비하고 있다.대기측 반송 장치(25)의 반송 암(26a)을 상승시키면, 반송 암(26a)에 결합한 구획 가변 장치(60)의 프레임(62)이 상승하고, 벨로우즈(63)를 신장시키기 때문에, 대기압 반송실(14)의 내부의 가스 유통 공간(S1)의 용적이 축소되고, 대기압 반송실(14)의 내부의 가스 유통 공간(S1)의 분위기를 단시간에 치환할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020187005182
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