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수율 추산 및 제어

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기관명	NDSL
출원인	에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
출원번호	10-2016-7019101
출원일자	2016-07-14
공개번호	20160825
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	리소그래피 장치에 의해 처리되는 생산 기판들을 수반하는 디바이스 제조 공정을 위한 컴퓨터-구현 결함 예측 방법이 개시되며, 상기 방법은 디바이스 제조 공정에 의해 처리되는 생산 기판들과 연계된 공정 파라미터의 측정된 또는 결정된 값들, 및 공정 파라미터의 값들 하에 디바이스 제조 공정에서 처리되는 생산 기판들과 연계된 결함들의 존재에 관한 표시를 포함하는 트레이닝 세트를 이용하여 분류 모델을 트레이닝하는 단계, 및 기판에 대한 결함의 예측을 나타내는 분류 모델로부터의 출력을 생성하는 단계를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167019101
첨부파일

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