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플라즈마 처리의 공간 분해 방사 분광

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기관명	NDSL
출원인	도쿄엘렉트론가부시키가이샤
출원번호	10-2016-7014192
출원일자	2016-05-27
공개번호	20160707
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	반도체 플라즈마 처리실 내의 플라즈마로부터 광학 방사의 2차원 분포를 측정하는 방법, 컴퓨터 방법, 시스템 및 장치가 개시된다. 플라즈마 광학 방사의 획득된 2차원 분포는 플라즈마에 존재하는 소정의 관심 대상 화학종의 2차원 농도 분포를 추론하고, 그에 따라서 프로세스 개발 및 또한 새로운 및 개선된 처리 도구 개발을 위한 유용한 도구를 제공하기 위해 사용될 수 있다. 개시된 기술은 연산적으로 단순하고 비싸지 않으며, 광 강도의 주변 변화를 허용하는 기저 함수의 합으로 상기 추정된 광 강도 분포의 확장의 사용을 수반한다. 적당한 기저 함수의 예는 제르니케 다항식이다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167014192
첨부파일

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