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진공을 파괴하지 않으면서 페디스털 표면으로부터 잔류물을 제거하기 위한 인 시튜 플라즈마 세정

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7014208
출원일자	2016-05-27
공개번호	20160630
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	증착 챔버의 인 시튜 플라즈마 세정 방법 및 장치가 제공된다.일 실시예에서, 진공을 파괴하지 않으면서 증착 챔버를 플라즈마 세정하는 방법이 제공된다.이 방법은 상기 챔버 내에 배치되고 전기적으로 플로팅하는 증착 링에 의해 둘러싸이는 서셉터 상에 기판을 위치시키는 단계, 상기 챔버 내의 증착 링 및 기판 상에 금속 막을 증착하는 단계, 진공을 파괴하지 않으면서, 상기 증착 링 상에 증착된 금속 막을 접지시키는 단계, 및 진공을 파괴하지 않으면서 접지된 상기 증착 링 상의 금속 막을 재스퍼터링하지 않으면서, 상기 챔버 내에서 형성된 플라즈마를 이용하여 상기 챔버로부터 오염물들을 제거하는 단계를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167014208
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