| 기업공감원스톱서비스

전자빔 증발원 및 진공 증착 장치

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 아루박
출원번호	10-2016-7014265
출원일자	2016-05-27
공개번호	20160721
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	광범위하게 비산(飛散)하는 반사 전자를 안정적으로 포착하는 것이 가능한 전자빔 증발원 및 그것을 구비한 진공 증착 장치를 제공한다. 상기 전자빔 증발원은, 증발 재료 보지부와, 전자총과, 자기 회로부를 구비한다.상기 증발 재료 보지부는, 제1 증발 재료를 보지(保持)하는 것이 가능한 제1 보지 영역을 가진다.상기 전자총은, 상기 제1 보지 영역과 상기 제1 축 방향으로 나란히 배치되어, 상기 제1 보지 영역에 대해 전자빔을 출사하는 것이 가능하게 구성된다.상기 자기 회로부는, 연자성(軟磁性) 재료로 구성된 자성판과, 상기 전자빔이 제1 증발 재료에서 반사한 반사 전자를 상기 자성판을 향해 편향시키는 것이 가능한 반사 전자 편향 부재를 가지고, 상기 전자총과 상기 제1 보지 영역을 사이에 두고 상기 제1 축 방향으로 나란히 배치된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167014265
첨부파일

기업조회