레이저광 차폐 부재, 레이저 처리 장치 및 레이저광 조사 방법
기관명 | NDSL |
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출원인 | 가부시끼가이샤 니혼 세이꼬쇼 |
출원번호 | 10-2015-7029915 |
출원일자 | 2015-10-16 |
공개번호 | 20151231 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 피처리체에 대하여 조사를 회피한 부분을 확보할 수 있도록 라인빔을 분단하고, 분단한 라인빔을 피처리체에 조사 가능하게 하기 위해서 라인빔 형상의 레이저광의 광로에 대하여 차폐 부재의 일부 또는 전부를 상대적으로 이동할 수 있게 설치하고, 이동에 따라, 분단된 라인빔의 형상 조정을 가능하게 함으로써 라인빔을 차폐 부재의 이동 위치에 의해 결정되는 형상으로 분단된 라인빔을 얻어 이것을 피처리체에 조사할 수 있고, 광학계의 교환이나 조정 시간 등을 필요로 하지 않고 조사에 지장이 있는 부위나 조사를 하고 싶지 않은 부위 등에 레이저광을 조사하지 않고 라인빔을 피처리체에 조사할 수 있어, 생산성이 좋고 또한 품질 좋게 소망의 가공을 행할 수 있다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157029915 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | H01L-021/268,G02F-001/13,H01L-021/768,H01L-027/32,H01L-029/786 |
주제어 (키워드) |