영구 자석을 구비하는 아크 증발 코팅 소스
기관명 | NDSL |
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출원인 | 플란제 에스이 |
출원번호 | 10-2015-7029977 |
출원일자 | 2015-10-16 |
공개번호 | 20151231 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 본 발명은 기상-증착될 코팅 재료로 제조된 타겟(2), 기상-증착될 코팅 재료의 기상 증착에 영향을 미치기 위한 강자성 요크(3), 및 기상-증착될 코팅 재료의 기상 증착에 영향을 미치기 위한 적어도 하나의 영구-자성체(4)를 포함하는 아크 증발 코팅 소스(1)에 관한 것이다.강자성 요크(3)는 타겟(2)과 접촉하여 배치된다.영구-자성체(4)는 강자성 요크(3)에 의해 타겟(2)에 체결된다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157029977 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | H01J-037/32,C23C-014/32,C23C-014/34 |
주제어 (키워드) |