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원자층 식각 장비를 이용한 MRAM 물질 식각 부산물 제거 방법

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기관명	NDSL
출원인	성균관대학교산학협력단
출원번호	10-2014-0041941
출원일자	2014-04-08
공개번호	20151022
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	MRAM 물질의 손상을 최소화하면서 제거할 수 있는 MRAM 물질 식각 부산물 제거 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 MRAM 물질 식각 부산물 제거 방법은 반응챔버 내부에 흡착가스를 주입하여 재증착층에 흡착시키는 제1 단계, 상기 흡착가스 중 상기 재증착층에 흡착되지 않고 남은 가스를 상기 반응챔버 외부로 배출하는 제2 단계, 상기 흡착가스가 흡착된 재증착층에 반응성 이온빔을 조사하여 상기 재증착층을 탈착시키는 제3 단계 및 탈착된 혼합물을 상기 반응챔버 외부로 배출하는 제4 단계를 포함할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020140041941
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