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반도체 웨이퍼의 결함 자동 분류를 위한 결정 트리 구성

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기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2016-7014743
출원일자	2016-06-02
공개번호	20160714
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	반도체 웨이퍼의 결함들의 자동 분류를 위해 결정 트리를 구성하는 방법 및 시스템이 제공된다. 하나의 방법은 결정 트리의 하나 이상의 플로팅 트리를 변경함으로써 웨이퍼에서 검출된 결함들의 분류를 위한 결정 트리를 생성하는 단계를 포함한다. 상기 하나 이상의 플로팅 트리는 개별 유닛으로서 다루어지는 하위 트리이다. 또한, 방법은 결정 트리를 결함들에 적용함으로써 웨이퍼에서 검출된 결함들을 분류하는 단계를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167014743
첨부파일

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