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증착용 불소계고분자 복합 타겟

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기관명	NDSL
출원인	한국화학연구원
출원번호	10-2017-0171497
출원일자	2017-12-13
공개번호	20171221
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명에 따른 RF 스퍼터링용 불소계고분자 복합 타겟은 전압을 인가하는 금속 전극과의 접합력이 우수하고, 휨 발생을 억제할 수 있으며, 전도성을 부여함으로써 향상된 플라즈마 형성이 가능하여 불소계고분자의 절연파괴를 방지 및 우수한 증착율을 나타낼 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020170171497
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